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多晶硅还原炉底座密封垫片制造技术
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文档序号:36294909
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本实用新型涉及一种多晶硅还原炉底座密封垫片,属于密封垫片技术领域。一种多晶硅还原炉底座密封垫片,安装在多晶硅还原炉底座上,包括一体成型的底座部和弧形桥部;所述弧形桥部的两端连接设置在底座部的表面,弧形桥部与底座部之间具有空隙;该密封垫片使用...
该专利属于吴炳政所有,仅供学习研究参考,未经过吴炳政授权不得商用。
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