下载图像传感器及其制作方法的技术资料

文档序号:36294673

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本发明提供一种图像传感器及其制作方法,制作方法包括:提供第一基底;于所述外围电路区形成沟槽;形成金属阻挡层;形成金属层;图形化刻蚀所述沟槽外围的所述第一金属层与所述第一金属阻挡层,形成堆叠的第二金属阻挡层和第二金属层。所述金属栅格、所述金属...
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