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一种高精度光电角位移传感器用光学系统及角位移传感器技术方案
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下载一种高精度光电角位移传感器用光学系统及角位移传感器的技术资料
文档序号:36290672
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本发明一种高精度光电角位移传感器用光学系统及角位移传感器,包括:等效平板玻璃、第一透镜、第二透镜和第三透镜;等效平板玻璃、第一透镜、第二透镜、第三透镜沿轴向依次设置;等效平板玻璃的前方朝向光学编码盘的外壁;第一透镜前表面上设置有孔径光阑,第...
该专利属于北京控制工程研究所所有,仅供学习研究参考,未经过北京控制工程研究所授权不得商用。
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