专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
英飞凌科技股份有限公司
>
组合波纹压电传声器和波纹压电振动传感器制造技术
>技术资料下载
下载组合波纹压电传声器和波纹压电振动传感器的技术资料
文档序号:36284136
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本公开涉及组合波纹压电传声器和波纹压电振动传感器。例如,一种组合微机电结构(MEMS),包括:第一压电隔膜,具有一个或多个第一电极,第一压电隔膜粘附在第一保持部和第二保持部之间;以及第二压电隔膜,具有惯性质量和一个或多个第二电极,第二压电隔...
该专利属于英飞凌科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过英飞凌科技股份有限公司授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。