组合波纹压电传声器和波纹压电振动传感器制造技术

本公开涉及组合波纹压电传声器和波纹压电振动传感器。例如，一种组合微机电结构(MEMS)，包括：第一压电隔膜，具有一个或多个第一电极，第一压电隔膜粘附在第一保持部和第二保持部之间；以及第二压电隔膜，具有惯性质量和一个或多个第二电极，第二压电隔膜粘附在第二保持部和第三保持部之间。二保持部和第三保持部之间。二保持部和第三保持部之间。

【技术实现步骤摘要】
组合波纹压电传声器和波纹压电振动传感器
[0001]本申请是2020年6月9日提交的美国专利申请第16/896,665号的部分延续，该申请通过引用并入本文。


[0002]本专利技术总体上涉及一种组合波纹压电传声器和波纹压电振动传感器。

技术介绍

[0003]微机电换能器在现代电子技术中起着核心作用，既可以作为传感器，也可以作为致动器，并且用于多种不同的应用，例如传声器、扬声器、压力传感器或加速度传感器。
[0004]微机电换能器可具有隔膜，其根据换能器是形成为传感器还是致动器而以被动或主动方式进行位移。在微机电换能器形成为传感器的情况下，隔膜可以被动方式位移，例如通过待检测的声音或待检测的加速度。待检测变量的特性(例如，声频、声幅或时间加速度分布)可根据隔膜的位移来确定。在微机电换能器形成为致动器的情况下，隔膜可以主动方式位移，例如为了在扬声器中生成声音。
[0005]这种微机电换能器的隔膜可至少由压电材料分段形成，在隔膜被动位移的情况下，在压电材料中感应电压，该电压可被合适的读出电路读出，以确定待检测变量的特性。备选地本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种MEMS振动传感器，包括：压电隔膜，包括粘附到所述MEMS振动传感器的保持部的至少一个电极；以及惯性质量，粘附到所述压电隔膜。2.根据权利要求1所述的MEMS振动传感器，还包括被配置用于评估与所述至少一个电极相关联的信号的和与差的电路。3.根据权利要求2所述的MEMS振动传感器，其中所述电路被配置用于提供指示所述MEMS振动传感器的X轴加速度的第一评估结果、指示所述MEMS振动传感器的Y轴加速度的第二评估结果、或者指示所述MEMS振动传感器的Z轴加速度的第三评估结果。4.根据权利要求1所述的MEMS振动传感器，其中所述压电隔膜包括卵形隔膜。5.根据权利要求1所述的MEMS振动传感器，其中所述压电隔膜包括波纹隔膜。6.根据权利要求1所述的MEMS振动传感器，其中所述至少一个电极包括分段电极。7.根据权利要求6所述的MEMS振动传感器，其中所述分段电极包括两个分割区。8.根据权利要求7所述的MEMS振动传感器，其中所述两个分割区包括两个大小相等的分割区。9.根据权利要求6所述的MEMS振动传感器，其中所述分段电极包括四个分割区。10.根据权利要求9所述的MEMS振动传感器，其中所述四个分割区包括四个大小相等的分割区。11.根据权利要求6所述的MEMS振动传感器，其中所述分段电极包括多个高电极段和多个低电极段。12.一种方法，包括：将压电隔膜粘附到MEMS设备的保持部；将惯性质量粘附到所述压电隔膜；将多个分段电极粘附到所述压电隔膜；以及使用所述分段电极，响应于所述ME...

【专利技术属性】
技术研发人员：C，
申请(专利权)人：英飞凌科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：