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本实用新型公开了一种蚀刻系统多层进气喷淋头装置，用于真空等离子蚀刻系统，包括进气板、第一匀气板、第二匀气板与工艺腔体，进气板安装在工艺腔体上，第二匀气板安装在进气板的中部，第一匀气板安装在第二匀气板内，进气板的中部分布有六个进气口，第一匀气...
该专利属于东莞市晟鼎精密仪器有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过东莞市晟鼎精密仪器有限公司授权不得商用。

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