下载一种单晶炉水冷屏同心工装的技术资料

文档序号:36273385

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本实用新型涉及单晶炉制造技术领域,具体涉及一种单晶炉水冷屏同心工装,包括竖立的中轴,所述中轴从下往上依次套设有分隔开的底定位模块、中定位模块和顶定位模块,所述底定位模块为两片平放叠合的同轴心圆板,其中下面的圆板直径大于上面的圆板,所述中定位...
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