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苏州英嘉通半导体有限公司
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具有阵列场板的HEMT器件制造技术
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下载具有阵列场板的HEMT器件的技术资料
文档序号:36270435
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本实用新型揭示了一种具有阵列场板的HEMT器件,所述HEMT器件包括:衬底;位于衬底上的异质结,异质结包括沟道层和势垒层;钝化层结构,位于异质结上方,所述异质结及钝化层结构中沿第一方向形成有栅极区域、源极区域和漏极区域,栅极区域位于源极区域...
该专利属于苏州英嘉通半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州英嘉通半导体有限公司授权不得商用。
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