下载具有阵列场板的HEMT器件的技术资料

文档序号:36270435

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本实用新型揭示了一种具有阵列场板的HEMT器件,所述HEMT器件包括:衬底;位于衬底上的异质结,异质结包括沟道层和势垒层;钝化层结构,位于异质结上方,所述异质结及钝化层结构中沿第一方向形成有栅极区域、源极区域和漏极区域,栅极区域位于源极区域...
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