下载混酸激活状态的控制方法、装置、计算机设备及存储介质的技术资料

文档序号:36270264

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本申请涉及一种混酸激活状态的控制方法、装置、计算机设备及存储介质。混酸激活状态的控制方法包括:混酸包括氢氟酸、硝酸和醋酸,方法包括:获取混酸桶中混酸处于刻蚀状态时混酸中氢氟酸的浓度;其中,刻蚀状态包括混酸处于激活状态时对待刻蚀器件进行刻蚀的...
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