下载用于ESD保护的PNP_SCR器件结构及制作工艺的技术资料

文档序号:36269550

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本发明提供一种用于ESD保护的PNP_SCR器件结构,包括P型衬底,在P型衬底的内部左上方制作有N型阱区,在N型阱区表面通过离子注入制作有第一SN区和第一SP区,第一SP区位于第一SN区右侧;第一SN区和第一SP区通过金属相连,形成器件的阳...
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