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单晶PERC电池片的制备方法及单晶PERC电池片技术
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文档序号：36266502
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本发明涉及一种单晶PERC电池片的制备方法及单晶PERC电池片，属于太阳能电池制造技术领域。制备方法包括背钝化工艺，背钝化工艺包括：在热氧化后的单晶硅片背面沉积Al2O3层，其中，沉积所述Al2O3层时控制TMA/H2O的比例为2.3
该专利属于晋能清洁能源科技股份公司所有，仅供学习研究参考，未经过晋能清洁能源科技股份公司授权不得商用。
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