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本发明提供一种三维集成结构及其制作方法。所述三维集成结构包括沿厚度方向在第一器件基片上堆叠并相邻设置的散热片，提升了三维集成结构的散热能力，所述散热片中的金属散热层可以通过成膜工艺制作，相对于制作散热管道进行散热，制造难度大大降低，有助于确...
该专利属于武汉新芯集成电路制造有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过武汉新芯集成电路制造有限公司授权不得商用。

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