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一种扩晶设备制造技术
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文档序号:36259010
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本发明提出了一种扩晶设备,涉及扩晶设备技术领域,包括张紧装置和扩晶台;张紧装置包括呈环状的支撑架和环绕支撑架内侧周向分布的张紧机构,张紧机构用于配合张拉膜材的周向;扩晶台包括与支撑架内部相对且沿垂直于支撑架所在平面方向运动的顶升筒,顶升筒用...
该专利属于成都鸿睿光电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过成都鸿睿光电科技有限公司授权不得商用。
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