温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种用于纳米压印设备基底定位固定的台盘，包括台盘，所述台盘固定于纳米压印设备上，所述台盘的上表面设有多组真空槽，用于吸附不同尺寸的基底，在所述台盘左右两侧设有基底定位结构，在所述台盘下方设有顶针机构；在每组真空槽槽内侧底部设...
该专利属于青岛天仁微纳科技有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过青岛天仁微纳科技有限责任公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。