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本申请公开了一种MEMS谐振器及其振臂组件；其中，所述MEMS谐振器振臂组件包括锚固件和振臂；振臂于长度方向上间隔设置有固定端和自由端；所述固定端与所述锚固件连接，所述振臂被配置为靠近所述固定端的根部区域以及靠近所述自由端的头部区域，所述头...
该专利属于麦斯塔微电子（深圳）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过麦斯塔微电子（深圳）有限公司授权不得商用。

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