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本实用新型提供一种氧化铝陶瓷磁控溅射镀膜装置，包括真空溅射腔，所述真空溅射腔两侧对称设置有两组与电动推杆相连接的磁控调节腔，该氧化铝陶瓷磁控溅射镀膜装置，靶材板通过卡合槽和卡合块与真空溅射腔内部的阴极连接座进行定位卡合安装，且用于氧化铝陶瓷...
该专利属于富力天晟科技（武汉）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过富力天晟科技（武汉）有限公司授权不得商用。

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