温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

提供一种放置机构以及晶片表面粗糙度测量装置。放置机构包括第一平台、第二平台、滑轨及驱动器；第一平台包括支撑水平面、第一竖直止挡面和第二竖直止挡面，第一竖直止挡面垂直于支撑水平面且相对前后方向和左右方向倾斜并设定为与晶片的基准面平行，第一竖直...
该专利属于广东先导微电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广东先导微电子科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。