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本实用新型涉及一种托盘以及组合式托盘，其中单个托盘包括盘体，盘体的其中一面相对的两端分别设有用于承托晶圆且使晶圆不接触盘体表面的第一台阶，盘体的另一相对面的两个相对端分别设有能够与另一盘体的第一台阶对应互相嵌合的第二台阶。本实用新型在每个托...
该专利属于绍兴中芯集成电路制造股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过绍兴中芯集成电路制造股份有限公司授权不得商用。

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