一种托盘及组合式托盘制造技术

本实用新型专利技术涉及一种托盘以及组合式托盘，其中单个托盘包括盘体，盘体的其中一面相对的两端分别设有用于承托晶圆且使晶圆不接触盘体表面的第一台阶，盘体的另一相对面的两个相对端分别设有能够与另一盘体的第一台阶对应互相嵌合的第二台阶。本实用新型专利技术在每个托盘的盘体相对的两面各自设有台阶，其中第一台阶用于承托晶圆的边缘方便目检观察，第二台阶用于托盘收纳时能够与另一个托盘上的第一台阶互相嵌合实现多个托盘的层叠放置；多个托盘层叠时，通过第一台阶和第二台阶的互相嵌合，不仅可以节省对空间的占用，还可以保护处于下层的托盘第一台阶面因暴露在外而被污染。托盘第一台阶面因暴露在外而被污染。托盘第一台阶面因暴露在外而被污染。

【技术实现步骤摘要】
一种托盘及组合式托盘


[0001]本技术涉及一种托盘及组合式托盘。

技术介绍

[0002]在产品的生产过程中时常需要配合不同的质量检测环节，确保产品符合相应的质量标准，目检是常用的一种质量检测方式。目检时，产品通常被放置于专用器具上，对于半导体领域中对晶圆的目检，通常采用专用托盘来放置晶圆。
[0003]现有的晶圆目检用托盘，放置晶圆的所在面的边缘设置台阶，利用台阶的承托面承托住晶圆的边缘，避免晶圆其他部位与托盘接触，而托盘的另一面则为平面。上述现有结构的托盘不方便收纳，由于托盘底面为平面，如果采用层叠方式放置很容易倾倒，并且托盘不使用时，托盘台阶的承托面处于外露状态，长时间暴露在外的承托面容易被污染，一旦台阶的承托面上落有灰尘或其他颗粒物，在后续使用中容易污染晶圆或造成晶圆破裂。

技术实现思路

[0004]本技术首先公开一种便于收纳的托盘，可实现多个托盘层叠方式的收纳，且可令托盘台阶的承托面不暴露在外。
[0005]为了实现上述目的，本技术所采用的技术方案为：
[0006]一种托盘，包括盘体，所述盘体的其中本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种托盘，包括盘体，所述盘体的其中一面相对的两端分别设有用于承托晶圆且使所述晶圆不接触所述盘体表面的第一台阶，其特征在于：所述盘体的另一相对面的两个相对端分别设有能够与另一所述盘体的所述第一台阶对应互相嵌合的第二台阶。2.根据权利要求1所述的一种托盘，其特征在于：所述盘体上设有磁吸机构。3.根据权利要求1所述的一种托盘，其特征在于：所述第一台阶具有凸出于所述盘体表面的至少两级台面，所述第二台阶的台面级数与所述第一台阶的台面级数设置相同，所述第二台阶与另一所述盘体的所述第一台阶对应互相嵌合后，两个所述盘体的表面互相贴合接触。4.根据权利要求1所述的一种托盘，其特征在于：所述盘体采用特氟龙材料制成。5.一种组合式托盘，其特征在于：包括两个如权利要求1
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4任一项所述的托盘，其中一个所述托盘的所述盘体上设有第一嵌合部，另一所述托盘的所述盘体上设有第二嵌合部，两个所述托盘上、下交错叠合时，所述第一嵌合部与所...

【专利技术属性】
技术研发人员：童许樑，周立超，曹乐，张建康，
申请(专利权)人：绍兴中芯集成电路制造股份有限公司，
类型：新型
国别省市：