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本实用新型公开了一种晶圆清洗装置，其包括：槽体；支撑组件，其位于所述槽体中，用于竖向支撑并带动晶圆旋转；清洗刷，其平行、间隔设置于槽体中并绕其轴线转动；测速组件，其包括测速轮和固定座，测速轮通过转动轴设置于所述固定座，所述固定座配置有安装转...
该专利属于华海清科股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过华海清科股份有限公司授权不得商用。

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