温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了压力传感器芯片，通过衬底上表面形成缓冲层、缓冲层上两次外延形成第一外延层和第二外延层，缓冲层防止衬底被刻蚀的发生。第一外延层和第二外延层形成PN结即阻条，缓冲层上形成第一钝化层、第二外延层之间形成第二钝化层，第一钝化层和第二钝化...
该专利属于深圳市希立仪器设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市希立仪器设备有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。