下载一种用于取放晶圆的按压式真空吸笔的技术资料

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本实用新型涉及晶圆生产技术领域,公开了一种用于取放晶圆的按压式真空吸笔,包括笔杆、挤压装置、第一连接柱、吸取装置和卡固夹,卡固夹转动卡接在笔杆的上端,挤压装置对称分布设置在笔杆的中部,第一连接柱螺纹连接在笔杆的底端内部,吸取装置螺纹连接在第...
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