下载振动磁场辅助电化学磁性磨料复合抛光装置及其使用方法的技术资料

文档序号:36223668

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本发明提出振动磁场辅助电化学磁性磨料复合抛光装置及其使用方法,其中工件夹持运动模块安装在Z向运动滑台的滑动端,用于夹持工件并驱动转动;水平移动滑台组件安装在Z向运动滑台的下方,用于驱动空间振动模块水平方向移动;空间振动模块安装在水平移动滑台...
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