温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本实用新型公开了一种漏液引流组件、漏液收集装置和晶体生长装置,漏液引流组件包括承接件和密封件,承接件限定出用于承接从坩埚泄漏的硅熔液的承接腔,承接件形成有与承接腔连通的导流通道,导流通道的入口形成于承接腔的底壁;密封件设于导流通道内用于封堵...该专利属于徐州鑫晶半导体科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过徐州鑫晶半导体科技有限公司授权不得商用。
温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本实用新型公开了一种漏液引流组件、漏液收集装置和晶体生长装置,漏液引流组件包括承接件和密封件,承接件限定出用于承接从坩埚泄漏的硅熔液的承接腔,承接件形成有与承接腔连通的导流通道,导流通道的入口形成于承接腔的底壁;密封件设于导流通道内用于封堵...