温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种差分电容位移传感器的标定方法，包括以下步骤：S1、分别以定极板和动极板的中心为原点建立坐标系A和B；S2、确定初始位置B0，并进行平动坐标点选定；S3、将动极板依次移动到选定的坐标点记录电压值；S4、求解坐标系B与坐标系A之间...
该专利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院长春光学精密机械与物理研究所授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。