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一种图形化蓝宝石复合衬底的制作方法技术
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文档序号:36210401
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本发明公开一种图形化蓝宝石复合衬底的制作方法,包括以下步骤:S1,在蓝宝石衬底上均匀涂覆一层具有SiO2成份的压印胶;S2,对带有SiO2压印胶的蓝宝石衬底进行压印;S3,压印脱模后,进行高温烘烤;S4,进行反应式离子蚀刻(RIE),将压印...
该专利属于南昌光澜半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过南昌光澜半导体有限公司授权不得商用。
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