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本申请涉及一种用于化学气相沉积设备的控制方法、系统、设备及存储介质，应用于计算机设备，所述方法包括：获取待制作晶体的工艺流程信息和工艺配方信息；制定所述待制作晶体的第一生产计划和第二生产计划；控制生产设备生产所述待制作晶体，若生产所述待制作...
该专利属于北京北方华创真空技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创真空技术有限公司授权不得商用。

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