下载动态随机存取存储器的存储单元及其形成方法的技术资料

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一种动态随机存取存储器的存储单元及其形成方法,其中存储单元包括:衬底,衬底包括沟道区;字线栅结构,字线栅结构覆盖沟道区部分表面;分别位于字线栅结构两侧沟道区内的第一源漏掺杂区和第二源漏掺杂区;电容结构,电容结构与第一源漏掺杂区连接,其中电容...
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