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动态随机存取存储器的存储单元及其形成方法技术
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文档序号:36192704
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一种动态随机存取存储器的存储单元及其形成方法,其中存储单元包括:衬底,衬底包括沟道区;字线栅结构,字线栅结构覆盖沟道区部分表面;分别位于字线栅结构两侧沟道区内的第一源漏掺杂区和第二源漏掺杂区;电容结构,电容结构与第一源漏掺杂区连接,其中电容...
该专利属于芯盟科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过芯盟科技有限公司授权不得商用。
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