下载一种用于半导体晶圆划片机的自动上下料装置的技术资料

文档序号:36192009

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本发明涉及一种用于半导体晶圆划片机的自动上下料装置,其包括型材机架,型材机架顶部设有上料底板,还包括设于上料底板上方的机械手臂机构、夹料机构、推料机构、圆环料盒机构和设于上料底板下方的升降机构,推料机构的下方设有与圆环料盒机构连通的料盘输送...
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