下载一种具有P型栅的增强型GaN器件的技术资料

文档序号:36191985

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本发明属于功率半导体技术领域,提供一种具有P型栅的增强型GaN器件,用于解决现有器件存在的如栅压摆幅窄、栅极漏电大、工艺要求高、比导通电阻高、成本高、电热稳定性差等诸多问题。本发明采用绝缘栅介质层、P型宽禁带半导体层与金属栅极由下往上依次层...
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