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本发明公开了一种空间用防静电复合原子氧防护涂层制备方法，涉及航天器空间环境效应防护技术领域，首先在有机基底材料上利用等离子体增强化学气相沉积技术制备一层厚度50～600nm的硅氧烷防护涂层。接着在硅氧烷防护涂层上利用等离子体增强原子层沉积技...
该专利属于兰州空间技术物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过兰州空间技术物理研究所授权不得商用。

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