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本申请涉及一种钙钛矿外延生长工艺，包括如下步骤：S1：裁切衬片，根据需要的尺寸裁切出所需尺寸的衬片；S2：清洗衬片，对裁切后的衬片进行清洗；S3：设置磁场，在机体内设置与离子撞击衬片方向相反的磁场；S4：沉积镀膜，通过沉积设备对衬片进行沉积...
该专利属于浙江合特光电有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江合特光电有限公司授权不得商用。

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