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本发明涉及二极管生产技术领域，具体是涉及一种碳化硅二极管生产的刻蚀清洗设备，包括底座、清洗箱、固定组件、清洗辊、站脚、驱动组件、连接组件和直线移动组件，清洗箱中心固定设置有导向柱，驱动组件能够滑动的设置在底座中，驱动组件的数量为四个，所有的...
该专利属于先之科半导体科技（东莞）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过先之科半导体科技（东莞）有限公司授权不得商用。

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