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本发明涉及一种氮化硅/钨高温共烧陶瓷基板的制备方法，包括：（1）以硅粉/氮化硅粉作为原料粉体，稀土氧化物和碱土金属氧化物作为复合烧结助剂，与溶剂进行一次球磨混合，再加入塑性剂和粘结剂进行二次球磨，最后经真空脱泡，得到混合浆料；（2）采用流延...
该专利属于中国科学院上海硅酸盐研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院上海硅酸盐研究所授权不得商用。

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