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本公开提供一种激光退火设备、系统和方法，涉及半导体制造技术领域。激光退火设备包括激光发射装置和分光组件，分光组件用于将激光发射装置发射的激光分为多个光束，且各光束间隔分布；分光组件包括至少一个第一镜片和第二镜片，第一镜片位于第二镜片和激光发...
该专利属于重庆京东方显示技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过重庆京东方显示技术有限公司授权不得商用。

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