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本发明公开了一种改良型PVD镀膜转架结构，转架安装在镀膜腔体内，其包括两转盘，两转盘间圆周方向设置多个挂架杆，用于安放镀件的挂架，形成镀膜工位；对应各镀膜工位远离靶材的方向，在转盘上开设有呈半包状设置的调节滑槽，在调节滑槽内活动设置有可调挡...
该专利属于浙江海量纳米科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江海量纳米科技股份有限公司授权不得商用。

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