下载三明治结构的微流控芯片的制备方法及流体填充方法的技术资料

文档序号:36183785

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本发明公开了一种采用柔性模具剥离工艺三明治结构的微流控芯片的制备方法,采用柔性衬底和图形化光刻胶作为柔性模具,在柔性模具上形成柔性薄层,将柔性薄层和柔性模具的复合结构键合于硬质底层上,剥离柔性模具后于柔性薄层上得到与光刻胶图形对应的流路结构...
该专利属于厦门大学所有,仅供学习研究参考,未经过厦门大学授权不得商用。

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