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一种高精度六边形螺旋型硅漂移探测器制造技术
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文档序号:36181657
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本发明公开了一种高精度六边形螺旋型硅漂移探测器,涉及半导体探测技术领域。本发明结合半径的一阶近似公式得到半径的二阶近似公式来计算点坐标从而更精确的求得最后的圈数来获得结构,因此其电势电场分布也更接近设计要求,实际圈数在一阶近似的基础上更加精...
该专利属于鲁东大学所有,仅供学习研究参考,未经过鲁东大学授权不得商用。
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