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文档序号:36176350
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本发明提供一种真空泵,其能够在不进行翻修的情况下除去堆积物,进而能够检测堆积物的除去已完成。本发明具备清洁功能部和堆积传感器(206),前述清洁功能部用于清洁真空泵(100)内的堆积物的清洁功能,前述堆积传感器(206)用于检测堆积物的堆积...
该专利属于埃地沃兹日本有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过埃地沃兹日本有限公司授权不得商用。
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