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一种用于碳化硅单晶生长的籽晶搭接装置制造方法及图纸
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下载一种用于碳化硅单晶生长的籽晶搭接装置的技术资料
文档序号:36174553
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本实用新型公开一种用于碳化硅单晶生长的籽晶搭接装置,属于碳化硅单晶生长技术领域,包括坩埚、碳化硅籽晶部和用于加热所述坩埚的加热装置;所述碳化硅籽晶部设置于所述坩埚的内腔上部,所述坩埚的内腔下部填充有碳化硅粉料,所述碳化硅籽晶部与所述碳化硅粉...
该专利属于北京清研半导科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过北京清研半导科技有限公司授权不得商用。
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