下载一种用于碳化硅单晶生长的籽晶搭接装置的技术资料

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本实用新型公开一种用于碳化硅单晶生长的籽晶搭接装置,属于碳化硅单晶生长技术领域,包括坩埚、碳化硅籽晶部和用于加热所述坩埚的加热装置;所述碳化硅籽晶部设置于所述坩埚的内腔上部,所述坩埚的内腔下部填充有碳化硅粉料,所述碳化硅籽晶部与所述碳化硅粉...
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