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本申请提供一种晶圆传送用机械臂的智能控制方法及系统。该方法通过获取待传送晶圆的图像数据，并根据图像数据确定待传送晶圆的边缘轮廓线，然后，根据边缘轮廓线确定边缘标记区域以及边缘缺陷区域，并根据边缘标记区域所对应的标记范围、边缘缺陷区域所对应的...
该专利属于泓浒（苏州）半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过泓浒（苏州）半导体科技有限公司授权不得商用。

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