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本发明提供一种投影光刻物镜及光刻机。其中，投影光刻物镜的第一镜组中的第一负透镜和第一正透镜形成了密接双分离式透镜组，以实现场曲/像散矫正。第五镜组中第三正透镜、第二负透镜和第四正透镜形成了密接三分离形式透镜组，以实现色差矫正。第二镜组、第三...
该专利属于上海微电子装备（集团）股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备（集团）股份有限公司授权不得商用。

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