下载一种双抛片的转载装置的技术资料

文档序号:36129212

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本实用新型公开一种双抛片的转载装置,转载装置包括:搬运组件和承载组件,搬运组件包括:机械臂以及与机械臂传动连接的机械臂驱动装置,机械臂的搬运端上设有U型槽,U型槽的面积不小于待搬运的双抛片的正面/背面的有效区域的面积,且在U型槽的外侧台阶面...
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