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一种双抛片的转载装置制造方法及图纸
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文档序号:36129212
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本实用新型公开一种双抛片的转载装置,转载装置包括:搬运组件和承载组件,搬运组件包括:机械臂以及与机械臂传动连接的机械臂驱动装置,机械臂的搬运端上设有U型槽,U型槽的面积不小于待搬运的双抛片的正面/背面的有效区域的面积,且在U型槽的外侧台阶面...
该专利属于南昌光澜半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过南昌光澜半导体有限公司授权不得商用。
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