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一种防崩边的晶圆划片切割设备制造技术
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文档序号:36127542
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本发明公开了一种防崩边的晶圆划片切割设备,包括底座,所述底座具有固定基座,以及安装在所述底座顶部的移动座,所述移动座的顶部滑动连接有升降调节框,所述底座靠近移动座的位置固定连接有放置架;承重臂,所述承重臂具有安装端,以及安装在所述承重臂外表...
该专利属于江苏宝浦莱半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江苏宝浦莱半导体有限公司授权不得商用。
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