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用于电迁移测试的虚置结构制造技术
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下载用于电迁移测试的虚置结构的技术资料
文档序号:36094446
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本申请提供了一种用于电迁移测试的虚置结构,该虚置结构包括绝缘介质层、多个第一开口、一个第二开口以及多个第一金属块,其中,多个第一开口沿第一方向间隔的开设在绝缘介质层中,第一方向为垂直于绝缘介质层厚度的方向;第二开口开设在绝缘介质层中,第二开...
该专利属于合肥新晶集成电路有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过合肥新晶集成电路有限公司授权不得商用。
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