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本发明提供了一种半导体用超高纯铝材铸锭重熔利用的预处理方法,所述预处理方法包括对铸锭依次进行的打磨、碱洗、酸洗、清洗和烘干;所述碱洗采用氢氧化钠溶液进行;所述酸洗采用硝酸和氢氟酸的混合溶液进行。本发明提供的预处理方法减少了铸锭表面的外来污染...该专利属于同创普润(上海)机电高科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过同创普润(上海)机电高科技有限公司授权不得商用。
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本发明提供了一种半导体用超高纯铝材铸锭重熔利用的预处理方法,所述预处理方法包括对铸锭依次进行的打磨、碱洗、酸洗、清洗和烘干;所述碱洗采用氢氧化钠溶液进行;所述酸洗采用硝酸和氢氟酸的混合溶液进行。本发明提供的预处理方法减少了铸锭表面的外来污染...