温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及一种高效高精度超声化学抛光及清洗的集成装置，包括机座、X轴移动机构、Y轴移动机构、Z轴移动机构、XY轴二维超声振动抛光机构、Z轴超声振动机构、可调速超声雾化供液机构和冷水机槽。本发明装置耦合了超声场、化学场和机械场，集成了超声抛光...
该专利属于东北大学所有，仅供学习研究参考，未经过东北大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。