下载图案原盘、模具的制造方法及基体的制造方法的技术资料

文档序号:36089794

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本发明提供一种图案原盘、模具的制造方法及基体的制造方法,其中,该图案原盘在表面具有微细的凹凸图案,该基体在表面具备凹凸结构,该图案原盘具备基体和设置在基体的一个表面上的凹凸结构层,基体的至少一个表面由具有蚀刻停止功能的材料制成,基体暴露于凹...
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