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本发明提供了一种SIC托盘的酸洗净装置，包括清洗箱主体，所述清洗箱主体的顶面设置有箱盖，清洗箱主体的底面一侧设置有排液管，清洗箱主体的后端面设置有循环进液管，循环进液管与排液管之间设置有循环过滤系统，循环过滤系统包括循环泵；所述清洗箱主体内...
该专利属于上海中欣晶圆半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海中欣晶圆半导体科技有限公司授权不得商用。

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