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本申请公开一种适于高粘度光阻的缓冲装置与光阻供液系统，所述缓冲装置包括储液罐、连通所述储液罐的进液管与出液管，所述储液罐包括底壁与侧壁；所述缓冲装置还包括设置在所述储液罐内的导引板，所述导引板呈倾斜设置，所述进液管自上向下延伸至所述导引板下...
该专利属于合肥颀中科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过合肥颀中科技股份有限公司授权不得商用。

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